位于中山市火炬开发区明珠路边，有一家看似不起眼的企业，一台台被称为“高端电子产业的核心装备”的数字化光刻设备在这里不断产出。这家名为中山新诺科技股份有限公司（下称新诺科技）的高新企业，是目前国内唯一一家拥有数字化光刻技术原始专利的设备制造商。
作为今年中山市20家首批市级创新标杆企业之一，新诺科技产品销量在疫情之中逆势上扬，前三季度增长超100%，高峰期日发单金额甚至超过千万元。“无论环境怎么变，市场对优质产品的需求是不会变的。”该公司相关负责人认为，“逆势上扬”归根结底是技术引领和市场积累的结果，“抓住了核心竞争力，就掌握了市场话语权。”
●撰文：罗丽娟 曾艳春
打破技术垄断
“无掩模光刻之父”回国创业
故事要从上世纪90年代末开始讲起。
那时，一位名叫梅文辉的年轻人在美国球型半导体公司任职，负责研发工作。1998年，梅文辉带领团队发明了无掩模数字光刻技术——一项能够极大地缩短了光刻制程、大幅度降低成本的技术。梅文辉因此成为世界上首位将数字微镜阵列（DMD）技术应用于光刻领域的科学家，光刻行业称他为“The Father of Maskless”（无掩模光刻之父）之称。
2000年开始，日立、富士胶片等大公司纷纷获得这项专利的授权，把这项技术应用到LCD、PCB等生产领域。但在国内市场上，仍是一片空白。
“我一直希望将这项技术带回中国。”梅文辉的机会，在2009年出现了。当时，新诺科技的创始人杜卫冲博士在美国硅谷创业成功，在寻求新的科技项目过程中了解到梅文辉的技术，相见恨晚的两个人对光刻技术的理念一拍即合。2011年，梅文辉作为技术总监全职加入新诺科技，他和杜卫冲一起组建了新的研发团队。2012年，该团队获得“广东省创新团队（珠江计划）”的支持，成为中山市第一支省创新团队；同年，该团队研发出第一代无掩模光刻设备样机，打破国外技术的垄断，获得国内外3000多万元的订单。
如今，新诺科技的“高端光刻设备创新科研团队”已从十几人发展至200多人，核心技术人员占整个公司的比重近三成。
从2012年起，中山新诺科技股份有限公司在省、市和开发区政府的支持下，以广东省创新团队项目为中心，开始全方位进行数字化光刻技术系统性的研发，并且逐步走向国外市场。到2020年9月，新诺科技研发的系列光刻设备超过30个，累计销售数百台数字化光刻设备，其中多款光刻设备入选“广东省首台套设备”。在广东省第七届广东专利奖名单中，新诺科技的项目“曝光系统、校准系统、光学引擎、曝光方法和制造方法”获得银奖，“数字化光刻系统的开发和应用”项目获得2019年广东省科技进步二等奖。
技术创新撬动产业发展
中山拟打造无掩模光刻产业园
掌握了数字化光刻技术源头，就掌握了核心竞争力。梅文辉认为，新诺科技的创新之处，在于研发出新一代无掩模激光直接成像技术设备：在综合高功率激光光纤耦合技术，和以数字微镜器件（DMD）为基础的图像扫描系统基础上，推出激光动态成像技术，即ALDI（Advance Laser Dynamic Imaging）。
这是新诺科技的独创之处。“不是普通的DMD的设备投影技术，我们研发的系统包括一个专门设计的DLP光学引擎，加入微透镜的装置可形成‘点阵列’的功能。”梅文辉指出，该系统还具有特别的扫描方式和专门设计的光学系统，这让新诺科技的设备在激光直接成像技术上拥有独特优势。
目前，新诺科技的产品已经销往美国、欧洲及东南亚国家，世界上首台双面的无掩模光刻系统，就是新诺科技研发生产的。
新一代无掩模激光直接成像技术也在改写国内的产业格局。随着国内制造业的转型升级，新诺科技国内的客户也越来越多，新一代无掩模激光直接成像技术逐渐成为行业“标配”，助力国内企业产业升级。
“我们正筹备在科创板上市，目标是将公司打造为一家有核心竞争力的科创板企业。”在中山市2020年民营企业家座谈会上，新诺科技总经理刘尚军透露了近期目标。
当前，火炬开发区正大力推动新诺科技无掩模光刻设备增资扩产项目，计划在东部片区的深中通道登陆点一带，支持新诺打造无掩模光刻产业园。“目标是集成组件无掩模光刻产业链，把光学元件、机械平台、感光材料、微产线等相关产业带动起来。”火炬开发区相关负责人表示。
■观察眼
唯有穿越风雨，才能抵抗风雨
在新诺科技采访过程中，笔者在其车间门口留意到了一堵墙：从国际专利到中国专利，在入口处门两边各铺得密密麻麻。
“放不下了，楼上还有一些。”新诺科技创始人杜卫冲博士轻描淡写地说。很朴素的陈设，说不上更多的审美讲究，一如这家企业十余年来的初心坚守：闷声把产品研发出来，用技术力量说话。
有“酒香不怕巷子深”的自信并不容易。这得耐得住寂寞，更要跟得上步伐。而其中的“压舱石”，就是掌握核心科技。
十年前，新诺科技将新一代无掩模光刻技术带回国内发展时，在国内市场做的是“从0到1”的事。但瞄准了关键人物——无掩模数字光刻技术的研发带头人，掌握了核心技术——掌握国际激光直接成像技术的源头，并且还拥有市场化的关键因素——光刻技术原始专利在世界范围内的使用权，新诺科技最终迎来“从1到10”的发展新阶段。
作为把自主研发、生产和销售融为一体的高端激光直接成像（LDI、数字化曝光、无掩模光刻）设备厂家，新诺科技的创业故事质朴无华，却也格外动人：保持清醒认识，锚定内心追求，通过扎扎实实的努力，耐心等待在自主创新的浪潮中迎来关键核心技术的厚积薄发，将发展主动权牢牢掌握在自己手里。
莫听穿林打叶声，何妨吟啸且徐行。
一如既往地艰苦奋斗，一如既往地加强核心关键技术攻关，一如既往地开放合作。在创新的道路上，唯有穿越风雨，才能抵抗风雨。